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Sputter Coaters / Revestimento a Vácuo
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Ensaios e Análise · Test & Analytical Division

Sputter Coaters / Revestimento a Vácuo

Os sistemas de sputter coating e revestimento a vácuo da Torontech abrangem de baixo a alto vácuo, usados na preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura (MEV) e deposição de filmes finos.

Aplicações típicas

Microscopia eletrônica, nanotecnologia, P&D de materiais, semicondutores.

Atendimento Atlasmaq — Distribuidor Oficial Torontech Especificação técnica, demonstração, condições comerciais e prazo de entrega para o Brasil. Nossa equipe técnica local ajuda você a escolher a configuração certa.

Descrição

A Torontech oferece uma linha abrangente de sistemas de sputtering de bancada e revestimento a vácuo, cobrindo desde modelos de baixo vácuo até sistemas de alto vácuo com alvos magnetron. Os equipamentos vão desde o DSR1 e DST1, utilizados principalmente para preparação de amostras em microscopia eletrônica de varredura (SEM), até sistemas mais avançados como o DST2-TG e o DST3-T, que combinam sputtering e evaporação térmica em um único instrumento compacto. O portfólio inclui também revestidores de carbono, evaporadores térmicos de bancada, sistemas de deposição por laser pulsado (PLD) e sistemas de sputtering magnetron multi-alvo para deposição de filmes finos de pesquisa. Universidades e centros de pesquisa de prestígio mundial utilizam esses equipamentos com alto nível de satisfação. Todos os componentes são projetados e fabricados pela equipe de engenharia da Torontech com rigorosos padrões de qualidade.

Especificações técnicas

Modelo de referênciaDesk Carbon Coater DCR
Bomba de vácuoBomba rotativa de palheta de dois estágios de acionamento direto: 4 m³/h
Vácuo final< 50 millitorr
CâmaraCilindro Pyrex 170 mm DE × 140 mm altura
Fonte de alimentação0–25 A, corrente pulsada DC comutada
Dimensões (A×L×P)450×500×370 mm
Alimentação elétrica220–240 V, 50/60 Hz, 10 A
Peso de envio46 kg

Modelos da linha

Desk Carbon Coater - DCR
Revestidor de carbono compacto de bancada para preparação de amostras em SEM, TEM e análise EDX.
Desk Sputter Coater- DSR1
Revestidor por sputtering compacto para deposição de metais nobres (Au, Pd, Pt, Au/Pd) em amostras não condutoras para análise em SEM.
High Vacuum, Single Magnetron Target Desk Sputter Coater DST1-170
Revestidor de bancada de alto vácuo com alvo magnetron único de 2 polegadas, ideal para FE-SEM, EDS/WDS, TEM e EBSD.
High Vacuum, Single Magnetron Target Desk Sputter Coater DST1-300
Revestidor por sputtering de alto vácuo com câmara maior, capaz de revestir semicondutores, dielétricos e metais oxidantes e não oxidantes.
Turbo Pumped Desk Carbon Coater- DCT
Revestidor de carbono turbo-bombeado de alto vácuo para aplicações em FE-SEM, EDS/WDS, TEM e EBSD com filmes de carbono de grão fino.
Desk Sputter & Carbon Coater - DSCR
Revestidor combinado de sputtering e carbono compacto para amostras não condutoras, incluindo metais nobres e filmes de carbono.
Desk Sputter & Carbon Coater – DSCR-300
Revestidor de câmara grande com cátodos magnetron de 3 ou 4 polegadas resfriados a água, ideal para amostras de até 15 cm de diâmetro.
High Vacuum Desk Sputter & Carbon Coater - DSCT
Instrumento de alto vácuo com cabeças intercambiáveis para sputtering e revestimento de fibra de carbono em preparação de amostras para SEM.
High Vacuum Sputter Coater and Carbon/Thermal Evaporator – DSCT-T
Sistema versátil com três cabeças intercambiáveis: revestidor por sputtering, revestidor de carbono e evaporador térmico em uma única unidade.
High Vacuum Thermal Evaporator- DTE
Evaporador térmico de bancada compacto para deposição de metais nobres e metais oxidantes sob alto vácuo para fins de pesquisa.
Desk Thermal Evaporator-DTT
Evaporador térmico de bancada com evaporação tripla-fonte para deposição de filmes multicamadas e ligas.
High Vacuum, Triple Magnetron Target Desk Sputter Coater-DST3-A/S
Revestidor com três alvos magnetron de 2 polegadas resfriados a água e fontes de alimentação RF e DC, para deposição de semicondutores e metais diversos.
High Vacuum, Triple Magnetron Target Desk Sputter Coater with Thermal Evaporator-DST3-TA/S
Sistema multi-vácuo que combina sputtering e evaporação térmica em unidade de bancada compacta com três alvos magnetron.
High-Vacuum, Double-Magnetron Target Sputter Coater/ThermalEvaporator-DST2-TG
Sistema de duplo alvo magnetron com evaporação térmica, controle remoto via Wi-Fi e interface touchscreen.
PLD Pulsed Laser Deposition System
Sistema avançado de deposição por laser pulsado e evaporação térmica para deposição de nitretos, óxidos, superlattices e polímeros.
Turbo Pumped Carbon Coater and Thermal Evaporator – DCT-T-300
Revestidor de carbono turbo-bombeado com câmara de 300 mm de diâmetro para amostras de até 15 cm, com processo totalmente automático.
Large Desk Turbo-Pumped Carbon Coater – DCT-300
Revestidor de carbono de bancada de grande câmara (300 mm) com processo de revestimento automático e programável por flash, pulsado ou rampa.
Magnetron Sputtering System ToronSP-400
Sistema PVD box-type com 1 a 4 fontes de sputtering DC/RF para deposição de filmes nanométricos metálicos, óxidos, carbetos ou nitretos.
Load-Lock Equipped Coating System ToronTS-450
Sistema de revestimento com câmara load-lock para processamento mais rápido em ambiente de alto vácuo (10⁻⁷ Torr), com carga de novo wafer a cada 15 minutos.
Spin Coaters (ToronSC Series)
Spin coaters para deposição precisa de filmes finos uniformes, amplamente utilizados em ciência de materiais, pesquisa de semicondutores e P&D industrial.

Recursos e características

  • Linha completa de baixo a alto vácuo (até 10⁻⁷ Torr)
  • Opções com pump turbo-molecular para alta qualidade de filme
  • Sistemas com fontes DC e RF para sputtering de metais, dielétricos e semicondutores
  • Câmaras intercambiáveis para sputtering, carbono e evaporação térmica em um único instrumento
  • Controle remoto via Wi-Fi e interface touchscreen em modelos avançados
  • Câmaras load-lock para redução de tempo de ciclo
  • Aplicações opcionais de limpeza por plasma

Normas atendidas

CE

Aplicações

  • Preparação de amostras para microscopia eletrônica de varredura (SEM)
  • Análise por EDS/WDS, TEM e EBSD
  • Deposição de filmes finos para pesquisa
  • Fabricação de semicondutores
  • Ciência de materiais e nanotecnologia
  • Pesquisa universitária e centros de P&D avançados

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